胜科纳米取得一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备专利, 能够精准得到大尺寸晶圆的中心
发布日期:2024-08-11 20:22 点击次数:165
金融界2024年8月9日消息,天眼查知识产权信息显示,胜科纳米(苏州)股份有限公司取得一项名为“一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备“,授权公告号CN221486466U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型属于晶圆治具技术领域,提出一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备,晶圆中心定位装置包括承载部、限位部及导向部,承载部承载大尺寸的晶圆;限位部设置于承载部,并且朝向晶圆的一侧具有弧度,弧度与晶圆的周向侧壁适配;导向部设置于承载部,并且与限位部连接,导向部的长度方向穿过弧度所对应的圆心。本实用新型中将晶圆放置于真空吸附部,并且使晶圆承载于承载部,通过设置的承载部能够提高大尺寸的晶圆放置于真空吸附部时的稳定性。随后使晶圆的缺口与导向部相对设置,通过检测模组定位缺口的位置,控制检测模组沿导向部的长度方向移动预设长度,从而能够精准得到大尺寸的晶圆的中心。
相关文章
- 2025-06-26家庭教育哪些品牌比较好?初中孩子的人际关系怎么处理?_家长_问题_同学
- 2025-06-23大模型参与推理崩溃论战!从「思维错觉」到「错觉的错觉」再到「错觉的错觉的错觉」
- 2025-05-25万人星空演唱会唱响敦煌鸣沙山月牙泉
- 2025-05-234月17日财经早餐:避险情绪高涨,金价持续刷新历史新高,鲍威尔警告别期待美联储出手救市
- 2025-05-19害死狼牙山五壮士的罪魁祸首, 潜逃十年, 最终仍然逃不过制裁